洁净室地面的基本要求是不产尘、不积尘、易于清洗,并应满足洁净室内产品生产工艺的要求。
目前,各行各业的洁净室地面有多种多样的形式,常用的有水磨石地面、涂布型地面、粘贴型地面、各类活动地板和金属格栅通风地板等。各种洁净度等级和洁净厂房内各功能区的地面工程其材料选择可参照下表。


1、水磨石地面具有整体性好、光滑、耐磨、不易起尘、容易清洗、可防静电、无弹性等特点。
2.涂布型地面是以聚氨酯、环氧树脂、交联丙烯酸和乙烯基树脂等为涂料的地面工程。洁净厂房的涂布型地面大多为防静电树脂涂层地面。

3.粘贴型地面洁净厂房的贴面也称粘贴型地面,是以塑料软板和半硬质板铺贴而成的。这种地面具有一定的弹性,比较耐磨、不起尘、耐腐蚀,但不耐硬物划伤。
4.活动地板和金属格栅通风地板电子工业洁净厂房中的某些洁净室(区)设有大型设备或有的设备对于微振控制要求严格。如芯片制造用洁净厂房,一般均采用垂直单向流,洁净室地面通常采用回风活动地板。根据国家标准 《电子工程防静电设计规范》 (GB50611)
中对防静电活动地板的有关规定,在进行洁净室内活动地板的设计时,首先应合理选择活动地板的材质和支撑方式。按活动地板的支撑方式不同可分为四周支撑式和四角支撑式。四周支撑式活动地板一般由地板面板、可调支撑、横梁、缓冲垫等组成;四角支撑式通常由底板
面板、可调支撑、缓冲垫等组成。活动地板的防静电贴面板应选用导静电型、静电耗散型材料,其性能参数要求应符合本篇第12章的表述。活动地板及其配件的技术性能和材质应符合行业标准《防静电活动地板通用规范》(SJ/T10796)的有关规定。
